| Kinatibuk-ang Kinaiya | |
| Pagsukod | Pinaagi sa usa ka 20 um-pitch (0.0008 ka pulgada)grado nga bildo. |
| Glass thermal expansion coefficient | 8 ppm/K |
| Pagkatukma | ±5 um (±0.0002") ±3 um (±0.00012") |
| Maximum nga katulin | 120m/min |
| Maximum nga vibration | 20g |
| Naglihok nga duso | <5N |
| Operating temperatura | 0°...50 ℃ |
| Temperatura sa pagtipig | `-20°...70℃ |
| Timbang | 0.25KG+2.25KG/M |
| Relatibong humidity | 20...70 ℃ |
| Proteksyon | IP 53(Standard) IP 64(DIN 40050) gamit ang pressure |